真空霧化制粉裝置工作原理，是指在真空條件下熔煉金屬或金屬合金，在氣體保護的條件下，金屬液體在經過保溫中間包、導流管流下的過程中， 通過噴嘴由高壓氣流將金屬液體霧化破碎成大量細小的金屬液滴，細小的液滴在飛行過程中在
密閉式冷卻塔表面張力的作用下形成球形并凝固成顆粒，達制粉的目的。真空霧化制粉有以下特點：
1、可以制備大多數不能采用在空氣中和水霧化方法制造的金屬及其合金粉末。
2、可以制備球形粉末。
3、由于凝固快無偏析現象，可以制取許多合金粉末。
4、采用調整適合的工藝，可以使粉末粒度達一個要求的范圍。
真空霧化制粉裝置的結構由以下幾部分組成：熔煉系統、霧化系統、真空系統、氣源加壓及供氣系統、冷卻水系統、PLC控制系統、平臺等等。
1、熔煉系統：實際上就是一個多功能真空感應熔煉爐，它有：殼體、感應線圈、加料測溫裝置、視窗、傾爐裝置、中間包等幾部分組成：殼體是一個密閉的真空容器，雙層結構，內壁為不銹鋼，外壁為碳鋼，中間通水冷卻；測溫裝置是測量熔煉坩堝內金屬溶液的溫度和中間包的溫度；視窗可在整個過程中，觀察爐內情況；感應圈是熔煉的主要，感應線內安置坩堝，可以進行熔煉和澆注。中間包安裝在噴嘴系統上，用于存放熔融金屬液體，又有保溫作用，它比熔煉系統坩堝體積要小，而且細長結構，中間包保溫爐有自己的加熱系統、測溫系統。保溫爐的加熱系統，有電阻加熱和感應加熱兩種方式，電阻加熱溫度一般能達1000C ，感應加熱溫度可達1500°C ，但要合理的選擇坩堝材料。
2、真空系統：真空系統是使工作介質獲得真空環境的裝置，它根據真空度的要求和容積大來配置不同真空機組。可羅茨泵及擴散泵，通過真空管道、氣動真空閥與爐體、霧化沉積罐一類二類或三類泵相連接。
3、霧化系統：霧化系統由霧化桶、噴嘴、高壓氣管、閥門等組成。
4、粉塵收集器：在制粉過程中有些細粉末，隨著氣流沿管道飛出，如不處理，一是對環境造成污染 ，二是浪費了材料，所以須加以回收，目前回收的方法是經過旋風分離器和采用不相收集的方法來解決。
5、氣源加壓及供氣系統：供氣系統是為霧化噴嘴提供氣體的裝置，它由加壓泵、閥門、高壓膠管和匯流排等組成。
6、冷卻系統：整套裝置大部分設有水冷卻，冷卻系統是重要的。冷卻水的溫度都將反映到二二次儀表上，以保障裝置的運行的穩定，一般冷卻溫度要求55°C到35%C。
